陈大川把照片放大,又缩回去,终于确认那道被圈出来的伤痕,不是屏幕上的灰。
资料里的圆片直径三百毫米,属于相关半导体装备试验中使用的监测晶圆。照片拍得很清楚,边缘那点变化却细得让他一时不知道该先看机器,还是先找一副更好的眼睛。
“这东西跟刚才八吨工装一比,简直像没重量。”他说。
梁师傅看了一眼:“要求可不按你提着累不累算。”
吕建国接通对方项目负责人,先讲清资料共享范围。邀请来自授权协作的精密装备项目渠道,对方希望野火评估试验线有关搬运机械及接口状态,并非直接请他们改整套工艺。
当前异常涉及圆片在相关循环中出现边缘损伤,现场已按状态停下有关试验,损伤片与对照样片分开保留,没有拿一张好看的照片覆盖整个批次。
陈大川看着记录里那个反复出现的七,忍不住问,是不是程序数到七就开始捣乱。
周野没有直接点头。
“先问七是怎么数的。”
对方项目负责人听见这句,停了一下,随后将试验记录进一步展开。
所谓七轮附近,当前来自若干组现场观察。按设备循环计数、按圆片序号计数,还是按载具位置计数,相关信息还需要严格对应,不能一个数字反复出现,就认定背后已经站着同一个原因。
林浩将几类编号分开,先核对原始记录能支持哪些关系。
他还请对方保留同条件下没有发现损伤的组次,不只把坏片编号抄成一张很整齐的表。只有异常结果,没有对应的正常结果,很容易让一个反复出现的数字显得比实际更确定。项目负责人理解后,安排完整记录一并核对,那个七仍值得看,却不再拥有提前指定故障原因的特权。
陈大川趴在桌边看了一会儿,笑着说机器大概也不是上六天班,第七天故意跟人过不去。
梁师傅抬头:“它没双休,你倒先替它排上了。”
电话那头传来一阵轻笑,原本有些绷紧的介绍终于顺畅了些。
项目负责人进一步说明,当前并未确定损伤发生在搬运过程的哪一段。相关工艺模块、接口和载具状态,需要结合允许获取的过程资料分别核查。
野火可以参与设备机械及关联状态评估,洁净条件、工艺质量与最终判断仍有各自专业队伍承担。
周野将这一点接清楚,没有为了让新项目听着更大,就答应他们能把晶圆上每一种异常都看好。
系统也没有隔着图片跳出修复整条试验线的提示。
那道细伤可以证明有一个需要认真回答的问题,却不能单独给某只机械手、某段程序或某个载具定罪。
林浩随后发现,一份简表将两次不同试验安排中的圆片序号连续写在一起,容易让读者以为它们经历了完全相同的前序条件。
对方核对原始信息后,重新给出分组说明。那个值得关注的重复现象仍然存在,但不再被一张过于整齐的简表包装成已经查清的铁律。
梁师傅一直没急着盯机械臂,反而问能不能按允许范围,看看圆片从哪儿来,到哪儿去,中间经历了哪些接口。
“既然伤在边上,就把它经过的边也看清楚。”
项目负责人点头,说明将由现场团队整理对应资料,必要的现场评估条件也会提前核对。哪些能查看、哪些需要由专业人员代为确认,都在进场前讲清。
周野与吕建国接好安排,先不报价一个什么都包的整套修复合同。
那台恢复后的五米回转台还在野火自己的位置上,刚完成的二百四十万元服务也按原约定结清。新的薄圆片资料,不会把前一段工作重新改成尚未结束。
陈大川收起手机,望向厂房里大圆台所在的方向,忽然觉得今天接到的难题越来越有意思。
同样是圆的东西,一边八吨重,一边薄得小心拿取。它们不需要同一种力气,却都不肯替人忽略那些自以为差不多的关系。
梁师傅让他把准备去现场需要注意的要求先看完,别只记住自己又找到一句适合讲给别人的话。
陈大川笑着坐回桌边,认真往下读。
周野将最新资料分类保存,当前重构点仍是,没有为一个尚未诊断的问题先扣消耗或发奖励。
窗外,野火院子里有人推着工具车走过,声音很平常。
可桌上那张三百毫米的圆片,已经把他们下一段要走的路,缩进一道只有放大才看清的细痕里。